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  • ODS
    ODS系列是一款臭氧气体输送系统,可根据需要提供高纯度臭氧气体,非常适合要求最严格的半导体湿法或干式晶圆处理应用
  • Mini-ODS是一种创新的臭氧输送系统,设计用于生产高浓度的臭氧,适用于需要非常高的臭氧浓度21%w / w,320 g // Nm3或更高的各种晶片处理应用。