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产品名称:尾气破坏器
所属品牌:Teledyne API
产品简述
CAT-O3-F采用催化剂技术,把臭氧分解成氧气,可出处理流量高达20SLPM。
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Model CAT-O3-F臭氧破坏器,美国独家的臭氧催化剂系列破坏器,提供最佳的设计解决方案,通过催化将臭氧分解到安全水平
臭氧(O3)转化为氧气(O2)。 臭氧由于化学吸附在固体上而分解金属氧化物催化剂的表面。 臭氧分子通过可比较的力保持在催化剂表面在自己的化学键的力量。 那些债券被削弱,臭氧在一个分解放热反应形成氧气。

美国国家标准局的破坏程序是根据大多数臭氧破坏要求进行定制改进的性能,最长使用寿命和降低的成本。 美国的臭氧破坏系统经过精心设计满足最严格的安全性能要求,同时提供无与伦比的优势。

应用:

CVD(TEOS/O3)

ALD

MOCVD

Wet Bench

Spays Tools

全焊接结构

快速反应

没有耗材

无需维护

安装简便


原理:二氧化锰催化剂原理

处理能力:36SLMP@340g/Nm3

出口臭氧浓度:<0.01ppm

材料:不锈钢

接口:1/2“ VCR(Male)

尺寸:25.5"(L)X4"(D)5.13"(H)

外部温度:<30摄氏度