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典型应用
• 颗粒和碎屑去除
• 有机物去除
• 湿法蚀刻增强
优势
• ProSys 专利”聚焦声能“ 技术:斜面清效率明显提升
• 零晶圆间交叉污染
• 无晶圆边缘损伤和崩边风险
• 局部清洗工艺应用 = 低耗液量
• 无耗材 – 无需预防性维护(PM)
• 可替代刷洗系统
• 兼容广泛的工艺化学药剂
产品时间：2025-12-09 14:20:32
简要描述：
典型应用• 颗粒和碎屑去除• 有机物去除• 湿法蚀刻增强优势• ProSys 专利”聚焦声能“ 技术:斜面清效率明显提升• 零晶圆间交叉污染• 无晶圆边缘损伤和崩边风险• 局部清洗工艺应用 = 低耗液量• 无耗材 – 无需预防性维护(PM)• 可替代刷洗系统• 兼容广泛的工艺化学药剂...
典型应用
• 颗粒和碎屑去除
• 有机物去除
• 湿法蚀刻增强
优势
• ProSys 专利”聚焦声能“ 技术:斜面清效率明显提升
• 零晶圆间交叉污染
• 无晶圆边缘损伤和崩边风险
• 局部清洗工艺应用 = 低耗液量
• 无耗材 – 无需预防性维护(PM)
• 可替代刷洗系统
• 兼容广泛的工艺化学药剂
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